Plasma-ThermがSiCパワーMOSFET製造向け新型RTP装置を日本企業から追加受注

Plasma-Thermは、自動車および電気自動車(EV)向けで使用されるSiCパワーMOSFETデバイス用のヒートパルスRTP(急速熱処理)システムを日本の大手パワーデバイスメーカーから追加受注したと発表した。

日本のこの顧客は、新しいデュアルオーブン構成、1000℃を超す高温に到達できる能力、および新しい高度な監視および制御ソフトウェア「Cortex」の活用の同装置を採用したという。