2025年10月22日17時30分 / 提供:DreamNews
半導体用酸化ハフニウムは、化学式 HfO2で表される無機化合物であり、高誘電率を持つ酸化物材料の一種である。通常、白色の粉末状や薄膜状態で存在し、半導体デバイスのゲート絶縁膜やメモリ素子の材料として用いられる。高融点(約 2800℃)や高硬度、化学的安定性に優れており、特にその高誘電率特性により、従来のシリコン酸化膜に比べて、より薄い膜厚で同等以上の絶縁性能を発揮できることから、半導体デバイスの微細化において重要な役割を果たしている。市場調査機関のレポートによると、近年、半導体用酸化ハフニウムの需要は、半導体産業の微細化技術の進歩に伴い、着実に増加している。これは、半導体デバイスの高性能化や低消費電力化に対する要求が高まっており、酸化ハフニウムがそれらの要求に応えるための適切な材料として認識されていることを反映している。
このような市場動向には、多様な要因が関与している。半導体産業において、デバイスの微細化が進むにつれて、ゲート絶縁膜の膜厚を薄くすることが求められている。しかし、シリコン酸化膜の場合、膜厚を薄くするとトンネル電流が増加し、デバイスの性能劣化や消費電力増加の原因となる。これに対して、高誘電率の酸化ハフニウムを用いることで、薄い膜厚でも十分な絶縁性能を得ることができ、デバイスの高性能化と低消費電力化が可能となる。また、5G 通信、人工知能、ビッグデータなどの新技術の普及に伴い、高性能な半導体デバイスの需要が拡大しており、その結果、半導体用酸化ハフニウムの需要も牽引されている。さらに、半導体メーカーは、競争力を高めるために、新しい材料や製造プロセスの開発に注力しており、酸化ハフニウムの改良や新たな応用開発が進んでおり、これも市場を拡大させる一因となっている。
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