薬液モニタリングシステム「CS-1000」を発売

HORIBAグループで水・液体計測事業を担う株式会社堀場アドバンスドテクノ(本社：京都市南区吉祥院宮の東町2、代表取締役社長：西方 健太郎)は、薬液モニタリングシステム「CS-1000」を11月19日に発売します。
半導体製造プロセスで用いられる薬液の濃度をリアルタイムに測定する「CSシリーズ」は、1995年の発売以来30年近くにわたり現場のニーズに応え続けてきました。
さらなる性能向上に取り組んだ独立設置型の「CS-1000」では、薬液に含まれるppm※1レベルの微量成分を前処理なしで検出することを実現しました。また、薬液濃度(最大8成分)、導電率、pHという3項目の同時測定を可能とし、品質管理の高度化に貢献します。さらに、メンテナンスは半年に一度、約4時間※2で済ませることができ、製造現場のダウンタイム低減にも寄与します。