貴金属の使用量を大幅に削減した結晶育成法の開発に成功しました

酸化ガリウム基板の製造コストを従来比10分の1へ

NEDOは経済安全保障を強化・推進する観点から支援対象とすべき先端的な重要技術の研究開発を進める「経済安全保障重要技術育成プログラム（通称“K Program”）」の一環として、「高出力・高効率なパワーデバイス／高周波デバイス向け材料技術開発」（以下、本事業）を実施しています。
本事業で「β-Ga2O3ウエハ、パワーデバイス及びパワーモジュールの開発」に取り組む株式会社ノベルクリスタルテクノロジーは、このたび、貴金属製のるつぼを使用しない結晶育成法の開発に成功しました。本育成法は原料融液を液滴で供給する特徴からDrop-fed Growth（DG）法と命名しました。