オックスフォード・インストゥルメンツが、量子技術および先端R&D向け革新的超高速ALDシステム PlasmaPro ASPを発売

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社プラズマテクノロジー事業部は、2023年7月18日、Atomfab（R） システムに含まれる研究向け高速 ALD （原子層堆積） 装置の PlasmaPro ASP の発売を正式に発表しまし...