半導体露光装置向けソリューションプラットフォーム “Lithography Plus”を発売　サポートのノウハウとデータを統合することで露光装置の生産性向上に貢献

キヤノンは、50年以上にわたって培ってきた半導体露光装置のサポートノウハウと、露光工程を含む半導体製造に関する膨大なデータを統合することで、サポート業務の効率化と、最適なプロセスの提案を実現するソリューションプラットフォーム “Lithography Plus（リソグラフィ プラス）（※１）”のサービス提供を2022年9月5日より開始します。