日立ハイテクの特許「半導体の自動検査を実現する電子顕微鏡」が令和7年度関東地方発明表彰で「文部科学大臣賞」「実施功績賞」を受賞

デジタライズドアセットとして電子顕微鏡の展開をさらに拡充し、Lumadaを活用したデジタルサービスの提供を推進

株式会社日立ハイテク(以下、日立ハイテク、株式会社日立製作所のコネクティブインダストリーズセクター所属)は、このたび、半導体計測技術に関する特許「半導体の自動検査を実現する電子顕微鏡」(特許第7098743号、発明の名称：荷電粒子線システム、以下、本発明)について、公益社団法人発明協会が主催する令和7年度関東地方発明表彰の「文部科学大臣賞」および「実施功績賞」を受賞しました。
日立ハイテクは本発明の受賞を契機として、Lumadaを活用した高度なデジタルサービス提供のベースとなるデジタライズドアセットとして電子顕微鏡の展開を加速していきます。