パナソニック、半導体製造装置の汚れ度を可視化するアプリケーションを公開

パナソニック コネクトは、2月15日から2月17日まで開催した同社主催の「Factory Solution Conference 2023」（大阪南港ATCホール）において、半導体製造後工程で金属接合性や樹脂密着性を高めるプラズマクリーナー「PSX307」の設備状態をスコア化し、最適時期でのメンテナンスを支援するアプリケーション「PSX307-HSA」を初公開した。

プラズマクリーナーとは、クリーニングが必要な対象物表面にプラズマを吹き付け、対象物表面に存在する除去を行いたい物質とプラズマが化学反応を起こし、別の物質へ変化去せることでクリーニングを行う技術のこと。特に半導体関連ではウェハのレジスト除去やレジスト残渣除去などに使われている。