EUV露光の高出力化に期待、北大が光源プラズマ流の観測に成功

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北海道大学(北大)は2月6日、先端半導体製造で必要とされている「EUV露光技術」において、高出力化に重要な役割を果たす光源プラズマの複雑な流れの構造を明らかにしたと発表した。