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核融合研など、核融合研究で生まれたプラズマ照射技術で高機能発光デバイスを開発

2023年01月12日06時30分 / 提供:マイナビニュース


核融合研究所(核融合研)、北海学園大学、名古屋大学(名大)の3者は1月10日、プラズマを材料に照射する技術を半導体の材料加工に応用し、従来に比べて工程数を削減できる新たな加工技術を提示したことを発表した。

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