ドライエッチングとウェットエッチング　それぞれの強みやメリットを解説

●半導体製造における重要プロセス「エッチング」
今回の記事ではウェットエッチングとドライエッチングそれぞれのエッチング技術の特徴や違い、それぞれに適した用途について簡単に解説していく。