imecがFeRAMのHZOベース強誘電体キャパシタの応答と耐久性を改善 - IEDM 2022

imecは、開催中のIEEE IEDM 2022にて招待講演3件を含め、合計21件の発表を行っている。その中の1つにFeRAMの特性改善に関する発表がある。

具体的には、高耐久性(1011サイクル)、高い最終残留分極2PR(1.8MV/cmで2PR=30μC/cm2)およびウェイクアップを低減したランタン・ドープ・ハフニウム・ジルコン酸(La:HZO)ベース強誘電体キャパシタの実証結果を発表した。