imecがFPDプロセスと互換性のある圧電MEMS超音波トランスデューサアレイを発表

imecは、フラットパネルディスプレイ(FPD)加工技術と互換性のある圧電マイクロマシン(MEMS)超音波トランスデューサ(piezoelectric Micromachined Ultrasound Transducer:pMUT)アレイを10月10～13日にかけてイタリアで開催された「2022 IEEE International Ultrasonics Symposium」で発表した。

同アレイでは、空中ハプティクス(超音波による触覚)や指向性サウンドを実現するための圧力レベルである1kPa以上の空中の音圧を200～400kHzの範囲の共振周波数で実証できたという。