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半導体デバイスの高性能化に貢献「令和2年度全国発明表彰 発明賞」を受賞低比重・低熱膨張コージェライト材料の開発

2020年09月24日14時15分 / 提供:@Press

京セラ株式会社(社長:谷本 秀夫、以下京セラ)は、半導体デバイスの製造に使用される半導体露光装置※のウェハーステージ用に、京セラが独自に開発・実用化した低比重・低熱膨張コージェライト(特許第5762522号)について、公益社団法人発明協会が主催する「令和2年度全国発明表彰 発明賞」を受賞しましたので、お知らせいたします。

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