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ルネサス那珂工場N3棟1階床下で発煙が発生、生産や製品出荷には影響せず

2021年04月21日23時15分 / 提供:マイナビニュース

ルネサス エレクトロニクスは4月21日、同社の生産子会社であるルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリングの那珂工場の300mmウェハ対応ラインであるN3棟の1階床下から発煙があったことを発表した。

N3棟は3月19日に、めっき装置で生じた過電流が原因で火災が発生。各方面からの支援などを受け、4月17日に生産を再開したばかりであった。今回の発煙は同日16時30分ころに発生。発煙元は半導体製造装置ではなく、1階床下の自動搬送台車(RGV)の電源盤で、発煙後、すみやかに従業員によって鎮火されたという。人的被害はなかったという。

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