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SUSSとEntegrisが台湾に半導体装置・部品工場を建設 - 現地顧客と密着重視

2020年12月31日07時00分 / 提供:マイナビニュース

SUSSが半導体製造装置工場を台湾で稼働

半導体リソグラフィ関連装置メーカーである独SUSS MicroTecは、台湾で増加する200mmウェハ向け装置の需要に対応するため、台湾新竹サイエンスパークに半導体製造装置工場(4,800平方メートル)を建設、2020年12月より操業を開始したことを発表した。クリーンルームの広さは2,900平方メートルで、主に200mm対応コータ・デベロッパ「ACS200」の生産を行うとしており、台湾や中国などの半導体企業と密接に協業することで、ドイツで製造するよりも納期を短縮できるようになるとしている。

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