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韓国勢の出願が増加する韓国でのEUV関連特許、日本勢はフォトマスクで健闘

2020年11月17日13時11分 / 提供:マイナビニュース

韓国産業通商資源部傘下の韓国特許庁は11月12日、韓国でロジック半導体製造に続いてDRAM製造でも使われ始めたEUVリソグラフィに関連する特許の過去10年間にわたる出願動向調査結果を発表した。

韓国特許庁の調査によると、最近10年間(2011年1月1日〜2020年9月30日)に韓国で出願されたEUVに関連した特許件数は合計558件であったという。ただし、EUVレジストなど化学薬品の組成や成分のみに関する化学分野の特許は除いているものの、これらを用いたEUVプロセス特許は含んだ値だという。

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