韓国、国内でのフォトレジスト製造能力を倍増へ - 急速に進む素材国産化

韓国経済産業資源部(日本の経済産業省に相当)は1月15日、半導体製造に用いられるKrF、ArFなどのフォトレジストメーカーである韓Dongjin Semichem(東進セミケム)が京畿道華城市に有するレジストの量産工場の増設工事に2020年第1四半期中に着工する計画であることを明らかにした。

すでに工場の設計は完了しており、2021年初めには新工場での生産を開始する予定で、これにより韓国内でのフォトレジストの生産量は現在の2倍以上に拡大するという。