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自動車の高性能化を支える車載MEMSセンサ

2019年08月22日07時44分 / 提供:マイナビニュース

MEMSは、高度な微細加工技術によって、単一のシリコン基板上に機械素子、センサ、電子部品を集積する技術です。その技術は、さまざまな自動車で使用されてきた感知装置に代わって採用されつつあります。MEMS技術は、システムコストの削減、固有の堅牢性による継続的な信頼性、コンパクトなサイズによるスペース効率、操作性能に関して、設計上のメリットをもたらします。

車載用のMEMSセンサは、一般的に次の4つのカテゴリに分類できます。

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