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キヤノン、第8世代ガラス基板に対応したFPD露光装置を発売

2018年10月12日16時35分 / 提供:マイナビニュース

キヤノンは10月11日、2200mm×2500mmサイズの第8世代(G8)ガラス基板に対応したFPD(フラットパネルディスプレイ)向け露光装置「MPAsp-H1003T」を、2018年10月下旬より発売すると発表した。

同製品は、ミラー光学系の一括露光方式「ミラープロジェクション」を採用することで、広い露光フィールドで大型パネルを効率的に生産することが可能なほか、独自の加工技術により、従来機種「MPAsp-H803T」と同等の解像力2.0μm(L/S)を維持したまま、65型の一括露光を実現した。これにより、従来機種比で65型パネルを露光するタクトタイムを約37%短縮することができるようになるという。

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